La microanalyse ionique (acronyme SIMS en anglais) est une technique qui permet de mesurer des microgrammes de matière dans des millièmes de microns, on parle de nanomètres.

Les transistors de vos pentiums, vous savez, sont très petits...

Par exemple le Pentium 4 évolué de INTEL(Prescott) voit sa finesse de gravure atteindre 0,09 microns, soit 90 nanomètres, contre 0,13 micron jusqu'alors. Grâce à cette miniaturisation le nombre de transistors intègrés sur une même surface de silicium augmente, la fréquence d'opération augmente (on espère rapidement atteindre 4 GHz), la mémoire cache passe de 512 Ko à 1Mo, les densités d'intégration augmentent les coût de production diminuent et vous pouvez voir que le prix des ordinateurs baissent vite.

 La caractérisation des matériaux a plusieurs préoccupations :

• la composition chimique,
• les états chimiques,
• la distribution spatiale.

Les méthodes présentées ci-dessous permettent d'appréhender ces différents aspects.

Je vous propose un cours sur la microanalyse ionique

Par ailleurs, je suis en possession d'une bibliographie très importante sur tous les sujets concernant la cette technique:processus d'ionisation, ions moléculaires;

• méthode expérimentale;
• applications;
• étude des profils;
• analyse des nonconducteurs;
• méthodes expérimentales dérivées;
• analyse quantitative;
• problèmes de diffusion; 

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Je tiens à la disposition des étudiants de troisième cycle trois opuscules traitant de :

• La microanalyse ionique et ses applications;
• La spectromèrie Auger et ses applications;
• La spectromètrie de photoélectrons et ses applications. Retour vers l'accueil

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